形状记忆合金薄膜

来源:用户上传      作者: 本刊编辑部

　　Shuichi Miyazaki
　　Thin Film Shape
　　Memory Alloys
　　2009，459pp
　　Hardback
　　ISBN9780521885768
　　
　　Shuichi Miyazaki著
　　形状记忆合金（SMAs,Shape Memory Alloys）是一种在经过严重变形后能够通过加热恢复原来形状的材料。这种材料具有很多优良的特性，如具有高力体积比，这使它在受热或冷却时能够产生很大的应变力，另外它还具有超弹力、高阻尼、良好的耐化学腐蚀性和生物兼容性等性能。SMAs的这些独特的性能引起了人们对它作为智能和功能材料应用潜能的极大关注。最近，SMAs薄膜已被认为是微机电机械系统（MEMS）和生物器件的一种新型的极具发展潜力的高性能材料。
　　在各种SMAs薄膜中，TiNi基片是最具发展潜能的一种。因此，本书介绍了TiNi形状记忆合金薄膜的性能、制备及特征，重点关注最新技术的发展及其在MEMS和生物器件上的应用。本书既涵盖了该学科的基本技术和理论，适合于初学者阅读；同时又介绍如薄膜沉积、后处理、薄膜在实际情况中的应用等知识，因此它又适合于有一定基础的学者阅读。
　　全书共19章。1.溅射沉积TiNi基薄膜的概述；2.TiNi合金的马氏体相变；3.TiNi薄膜的沉积技术；4.TiNi多层薄膜；5.结晶和微结构的发展；6.TiNi薄膜的机械特性；7.应力及表面形貌的演化；8.离子注入处理及相关辐射效应；9.激光后退火及其理论；10.SMAs应用的概述；11.SMAs薄膜用于微执行器和微泵的理论研究；12.二元及三元合金膜膜片型微执行器；13.TiNi薄膜器件；14.形状记忆微阀；15.超弹力薄膜及其在医疗设备上的应用；16.溅射沉积TiNi超弹力微管道的制作及其特征；17.SMAs微笼的生物应用；18.SMAs合成的微执行器；19.TiNi SMAs在光学检测上的应用。
　　本书各章都是由著名的专家学者撰写，为每一个话题提供一个综合性的概述，并总结了相关方面的最新发展状况，使本书成为相关从业人员和研究人员的理想参考读物。
　　孙方敏，
　　博士生
　　（中国科学院电子学研究所）
　　Sun Fangmin, Doctoral Candidate
　　(Institute of Electronics, CAS)

转载注明来源:https://www.xzbu.com/8/view-1061328.htm